碳化硅化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010560400.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111560597B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111560597B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | C23C16/32（2006.01）I;C23C16/448（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 賀鵬博;周帆 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖南鎧欣新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙軒榮專利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 413000湖南省益陽(yáng)市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種碳化硅化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣裝置，包括：儲(chǔ)液室、汽化室、混合室和稀釋室，所述儲(chǔ)液室設(shè)置有一注液口，所述混合室設(shè)置有一混合管道，所述稀釋室設(shè)置有一稀釋管道，所述混合管道用于通入氫氣，所述稀釋管道用于通入氬氣，所述汽化室設(shè)置在所述儲(chǔ)液室上方，所述汽化室通過(guò)一導(dǎo)液汽化裝置與所述儲(chǔ)液室連通，所述汽化室與混合室通過(guò)管道相互連通，所述混合室與稀釋室通過(guò)管道連通，所述稀釋室設(shè)置有一輸出管道，所述輸出管道用于連通沉積爐。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，操作便捷，進(jìn)氣過(guò)程氣體不會(huì)液化堵塞管道，能夠有效生成高純度的MTS氣體并且氣體內(nèi)各成分比例穩(wěn)定。 |
