一種化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021013623.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213193032U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213193032U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01D50/00;C23C16/00 | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 賀鵬博;周帆 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 湖南鎧欣新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙軒榮專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 張勇 |
| 地址 | 413000 湖南省益陽(yáng)市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置。化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置，包括：沉積爐本體；連接管，所述連接管固定安裝在所述沉積爐本體的頂部；收集箱，所述收集箱設(shè)于所述沉積爐本體的一側(cè)，所述連接管遠(yuǎn)離所述沉積爐本體的一端延伸至所述收集箱內(nèi)。本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置通過(guò)設(shè)置第一濾布，能夠?qū)⒎蹓m阻擋在收集箱內(nèi)，設(shè)置多個(gè)清理絲，能夠使得第一濾布能夠保持良好的通透性，從而避免較多的粉塵附著在第一濾布上；設(shè)置第二濾布，能夠使風(fēng)機(jī)在關(guān)閉的情況下，粉塵回流到沉積爐本體內(nèi)；設(shè)置V形板，使得進(jìn)入收集箱內(nèi)的粉塵大部分被阻擋在V形板的下方，更有利于粉塵的沉降。 |
