一種化學氣相沉淀的基體支撐旋轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021030481.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213203195U 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN213203195U 申請公布日 2021-05-14
分類號 C23C16/458 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 賀鵬博;周帆 申請（專利權(quán)）人 湖南鎧欣新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 長沙軒榮專利代理有限公司 代理人 張勇
地址 413000 湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標準化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種化學氣相沉淀的基體支撐旋轉(zhuǎn)裝置。所述化學氣相沉淀的基體支撐旋轉(zhuǎn)裝置包括：底座；腔體，所述腔體開設(shè)在底座上；安裝槽，所述安裝槽開設(shè)在腔體的一側(cè)內(nèi)壁上；電機，所述電機固定安裝在安裝槽的底部內(nèi)壁上，所述電機的輸出軸延伸至腔體內(nèi)；第一錐形齒輪，所述第一錐形齒輪固定安裝在電機的輸出軸上；內(nèi)螺紋管，所述內(nèi)螺紋管轉(zhuǎn)動安裝在腔體內(nèi)；第二錐形齒輪，所述第二錐形齒輪固定套設(shè)在內(nèi)螺紋管上，所述第一錐形齒輪與第二錐形齒輪嚙合；空心管，所述空心管固定安裝在底座的頂部；螺桿，所述螺桿螺紋安裝在內(nèi)螺紋管內(nèi)。本實用新型提供的化學氣相沉淀的基體支撐旋轉(zhuǎn)裝置具有使用方便，可以自動進行封蓋的優(yōu)點。