一種立式化學(xué)氣相沉積爐爐底加熱裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021346196.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212770955U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212770955U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號(hào) | C23C16/46(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 賀鵬博;周帆 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖南鎧欣新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長沙軒榮專利代理有限公司 | 代理人 | 黃藝平 |
| 地址 | 413000湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種立式化學(xué)氣相沉積爐爐底加熱裝置。立式化學(xué)氣相沉積爐爐底加熱裝置，包括：爐體；空腔，所述空腔開設(shè)在所述爐體上；加熱機(jī)構(gòu)，所述加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述爐體的內(nèi)部；兩個(gè)導(dǎo)氣管，兩個(gè)所述導(dǎo)氣管均設(shè)置在所述爐體的頂部。本實(shí)用新型提供的立式化學(xué)氣相沉積爐爐底加熱裝置具有可以對(duì)材料進(jìn)行快速方便的加熱，且取料方便，加熱效果好，熱量不易散出，且冷卻速度快的優(yōu)點(diǎn)。?? |
