基于多重稀釋法的半導(dǎo)體溶劑ICP-MS測(cè)定方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111257769.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113933376A 公開(kāi)(公告)日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113933376A 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類(lèi)號(hào) G01N27/626(2021.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 宋牧函;孔磊;唐斌;王翼 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 雅邦綠色過(guò)程與新材料研究院南京有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京眾聯(lián)專(zhuān)利代理有限公司 代理人 許小莉
地址 210047江蘇省南京市六合區(qū)江北新區(qū)長(zhǎng)蘆街道園區(qū)西路118號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于多重稀釋法的半導(dǎo)體化學(xué)品ICP?MS測(cè)定方法,包括如下步驟:首先將不能與水混合的待測(cè)定的半導(dǎo)體溶劑,加入助溶溶劑成為混合有機(jī)溶劑;然后將混合有機(jī)溶劑加純水稀釋得到1#稀釋樣品;再將1#稀釋樣品再加入純水進(jìn)行稀釋得到2#稀釋樣品;對(duì)于待測(cè)定的半導(dǎo)體溶劑中的一種元素,以1#稀釋樣品,用電感耦合等離子質(zhì)譜儀掃描得到標(biāo)準(zhǔn)曲線并計(jì)算出1#稀釋樣品的濃度C1;同理計(jì)算出2#稀釋樣品中該種元素的濃度C2;并將結(jié)果帶入擬合算法公式,得到該元素在待測(cè)定的半導(dǎo)體溶劑中的濃度。本發(fā)明通過(guò)同一樣品不同稀釋倍數(shù)法,對(duì)混合基體ICP?MS測(cè)定的信號(hào)值進(jìn)行背景擬合運(yùn)算,實(shí)現(xiàn)痕量元素的準(zhǔn)確測(cè)定。