一種能量標(biāo)定模塊及標(biāo)定方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210031741.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114509920A 公開(kāi)（公告）日 2022-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN114509920A 申請(qǐng)公布日 2022-05-17
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 周黎;胥濤棚;董昱君;張雷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 源納微光學(xué)科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)裕新路188號(hào)同程大廈B區(qū)6F-632
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種能量標(biāo)定模塊，用于對(duì)直寫(xiě)式光刻機(jī)的曝光鏡頭進(jìn)行能量標(biāo)定，包括能量感測(cè)單元，配置為感應(yīng)多個(gè)曝光鏡頭出射的光能量的大小而輸出感測(cè)電流，比較單元，配置為對(duì)能量感測(cè)單元輸出的感測(cè)電流進(jìn)行比較并輸出比較結(jié)果；開(kāi)關(guān)單元，與能量感測(cè)單元對(duì)應(yīng)設(shè)置，配置為接通或斷開(kāi)能量感測(cè)單元與比較單元的電性連接；控制器單元，配置為控制開(kāi)關(guān)單元導(dǎo)通或斷開(kāi)，以及根據(jù)比較單元的比較結(jié)果調(diào)節(jié)多個(gè)曝光鏡頭出射的光能量。本發(fā)明通過(guò)使用能量感測(cè)單元將光能量轉(zhuǎn)化為感測(cè)電流，并通過(guò)比較單元實(shí)時(shí)比較感測(cè)電流，從而調(diào)節(jié)待標(biāo)定曝光鏡頭出射的光能量以達(dá)到基準(zhǔn)曝光鏡頭出射的光能量，能量一致性更高。