鍍膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920707833.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210012890U 公開(kāi)（公告）日 2020-02-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN210012890U 申請(qǐng)公布日 2020-02-04
分類(lèi)號(hào) C23C14/12;C23C14/56 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 云洋 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳奧攔科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 深圳奧攔科技有限責(zé)任公司
地址 518000 廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前灣一路1號(hào)A棟201室(入駐深圳市前海商務(wù)秘書(shū)有限公司)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種鍍膜裝置，包括鍍膜室、泵、連接鍍膜室和泵的管道，以及至少兩個(gè)制冷單元。鍍膜室用于容置工件和鍍膜氣體，以使鍍膜氣體在鍍膜室內(nèi)聚合于工件表面；泵用于抽真空以達(dá)到鍍膜所需的真空度并在鍍膜過(guò)程中對(duì)鍍膜室提供吸力，以使鍍膜氣體進(jìn)入和排出鍍膜室；至少兩個(gè)制冷單元沿著氣體的輸送方向依次設(shè)于管道上，泵從鍍膜室抽取的氣體依次經(jīng)過(guò)每個(gè)制冷單元。通過(guò)設(shè)置沿著氣流方向串聯(lián)的至少兩個(gè)制冷單元，即通過(guò)雙重吸收沉降的方式對(duì)氣流中的派瑞林單聚體進(jìn)行凝結(jié)，在后的制冷單元用于保證氣流中的派瑞林單聚體被完全凝結(jié)，從而保證氣流中不會(huì)有派瑞林單聚體進(jìn)入泵，防止泵被損壞。