三氯氫硅尾氣變壓吸附裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020701275.5 申請日 -
公開（公告）號 CN201949776U 公開（公告）日 2011-08-31
申請公布號 CN201949776U 申請公布日 2011-08-31
分類號 B01D53/053(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 宋宜華 申請（專利權）人 淄博寶運化工廠
代理機構 - 代理人 -
地址 255000 山東省淄博市高新區(qū)新華工業(yè)園東區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種三氯氫硅生產裝置，具體是一種三氯氫硅尾氣變壓吸附裝置，其特征是，包括多個并聯(lián)的變壓吸附塔分別與氫氣緩沖罐連接，每個吸附塔均連接有再生氣加熱器。本實用新型能夠吸收三氯氫硅尾氣中的氯硅烷，經過本實用新型處理后，尾氣中氫氣含量可達到99.99％，經濟效益好。