三氯氫硅尾氣回收裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201020701284.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN201949786U | 公開（公告）日 | 2011-08-31 |
| 申請公布號 | CN201949786U | 申請公布日 | 2011-08-31 |
| 分類號 | B01D53/18(2006.01)I;B01D53/047(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 宋宜華 | 申請（專利權）人 | 淄博寶運化工廠 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000 山東省淄博市高新區(qū)新華工業(yè)園東區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及一種三氯氫硅生產裝置，具體是一種三氯氫硅尾氣回收裝置，其特征是，包括采用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還采用原料氣管路連接；吸收塔采用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過吸附劑管路連接。本實用新型尾氣處理徹底，可獲得99.99％的氫氣和工業(yè)用HCI，經濟效益顯著，且不排放廢氣、廢液。 |
