集成電路測(cè)試裝置及測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010613957.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111871865A 公開(kāi)(公告)日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN111871865A 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) B07C5/344;B07C5/02;G01R31/28;G01R31/01 分類 將固體從固體中分離;分選;
發(fā)明人 陳戈 申請(qǐng)(專利權(quán))人 紹興網(wǎng)策科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡純
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)越州大道958號(hào)浙江工業(yè)大學(xué)之江學(xué)院科創(chuàng)樓內(nèi)315、317房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了集成電路測(cè)試裝置及測(cè)試方法。該集成電路測(cè)試裝置包括:測(cè)試機(jī),包括多個(gè)測(cè)試工位,用于提供多個(gè)測(cè)試信號(hào)以及對(duì)多個(gè)待測(cè)芯片的響應(yīng)信號(hào)進(jìn)行分析以獲得測(cè)試結(jié)果;以及分選機(jī),包括多個(gè)芯片工位,用于放置多個(gè)待測(cè)芯片,以及根據(jù)分選信號(hào)對(duì)多個(gè)待測(cè)芯片進(jìn)行篩選,其中,測(cè)試機(jī)的多個(gè)測(cè)試工位經(jīng)由測(cè)試排線與分選機(jī)的多個(gè)芯片工位相連接,分選機(jī)中存儲(chǔ)經(jīng)由測(cè)試排線傳輸?shù)墓の粯?biāo)識(shí),測(cè)試機(jī)根據(jù)分選機(jī)中存儲(chǔ)的工位標(biāo)識(shí)產(chǎn)生分選信號(hào)。該集成電路測(cè)試裝置允許測(cè)試機(jī)和分選機(jī)之間任意順序的測(cè)試排線連接,即使在大量待測(cè)芯片測(cè)量的情形也可以避免芯片識(shí)別錯(cuò)誤。