集成電路測試裝置及測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010613957.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111871865B 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN111871865B 申請公布日 2021-08-13
分類號 B07C5/344;B07C5/02;G01R31/28;G01R31/01 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 陳戈 申請（專利權(quán)）人 紹興網(wǎng)策科技有限公司
代理機構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡純
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)越州大道958號浙江工業(yè)大學之江學院科創(chuàng)樓內(nèi)315、317房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了集成電路測試裝置及測試方法。該集成電路測試裝置包括：測試機，包括多個測試工位，用于提供多個測試信號以及對多個待測芯片的響應信號進行分析以獲得測試結(jié)果；以及分選機，包括多個芯片工位，用于放置多個待測芯片，以及根據(jù)分選信號對多個待測芯片進行篩選，其中，測試機的多個測試工位經(jīng)由測試排線與分選機的多個芯片工位相連接，分選機中存儲經(jīng)由測試排線傳輸?shù)亩鄠€芯片工位的工位標識，測試機從分選機獲得多個芯片工位的標識回傳信號，以及根據(jù)測試結(jié)果和標識回傳信號產(chǎn)生分選信號。該集成電路測試裝置允許測試機和分選機之間任意順序的測試排線連接，即使在大量待測芯片測量的情形也可以避免芯片識別錯誤。