一種嵌入式塑封模具用抽真空機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122787082.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216624208U 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN216624208U 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L21/56（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 晁東軍;虞學(xué)良;范建東 申請（專利權(quán)）人 江蘇國芯智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京勤行知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213200江蘇省常州市金壇區(qū)明湖路365號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種嵌入式塑封模具用抽真空機(jī)構(gòu)，包括固定模具、窩鑲條和氣動增壓頭，所述固定模具的底部設(shè)有墊板，所述墊板內(nèi)嵌裝有調(diào)節(jié)柱，所述固定模具的底部設(shè)有底真空氣道；所述窩鑲條設(shè)置于固定模具上，所述窩鑲條與固定模具四周留有側(cè)真空氣道，且所述側(cè)真空氣道與所述底真空氣道貫通；所述氣動增壓頭設(shè)置于所述固定模具上，所述氣動增壓頭貫通連接于所述側(cè)真空氣道。本實用新型通過采用鑲嵌式模型模腔窩鑲條結(jié)構(gòu)，在中間塑封區(qū)域增加真空氣道，克服了產(chǎn)品輕微翹曲的問題，使產(chǎn)品整個底面都很好的被吸附在窩鑲條上面，提高了塑封產(chǎn)品品質(zhì)。