一種VCSEL芯片及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110417851.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113241582A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113241582A 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) H01S5/042;H01S5/183;H01S5/187;H01S5/34 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方照詒;李承遠(yuǎn) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市嘉敏利光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市道勤知酷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何兵;呂詩(shī)
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福保社區(qū)紅柳道2號(hào)順豐工業(yè)廠房1層B125
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種VCSEL芯片及其制造方法，利用透明導(dǎo)電材料平鋪在整個(gè)光窗平臺(tái)上表面形成抗反射透明導(dǎo)電層，達(dá)到全面接觸的效果，再鍍上所需的金屬電極，達(dá)到降低接觸電阻的目的，從而提供更好的光學(xué)性質(zhì)，降低高頻阻抗，提升高頻特性，減少熱效應(yīng)，并增加可靠度。