一種VCSEL芯片及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110417851.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113241582A 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN113241582A 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01S5/042;H01S5/183;H01S5/187;H01S5/34 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方照詒;李承遠 申請（專利權）人 深圳市嘉敏利光電有限公司
代理機構 深圳市道勤知酷知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 何兵;呂詩
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福保社區(qū)紅柳道2號順豐工業(yè)廠房1層B125
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種VCSEL芯片及其制造方法，利用透明導電材料平鋪在整個光窗平臺上表面形成抗反射透明導電層，達到全面接觸的效果，再鍍上所需的金屬電極，達到降低接觸電阻的目的，從而提供更好的光學性質，降低高頻阻抗，提升高頻特性，減少熱效應，并增加可靠度。