一種具有嵌入式磁源的MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910157476.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109737944A 公開（公告）日 2019-05-10
申請公布號 CN109737944A 申請公布日 2019-05-10
分類號 G01C19/5755（2012.01）I; G01C19/5733（2012.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張彪; 李曉宇 申請（專利權(quán)）人 成都因賽泰科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 成都金英專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都因賽泰科技有限責(zé)任公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)科園南路88號12幢1層103號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有嵌入式磁源的MEMS陀螺儀，包括質(zhì)量塊、驅(qū)動單元和檢測單元，所述驅(qū)動單元位于質(zhì)量塊的X方向，所述檢測單元包括蓄熱器、導(dǎo)線和磁傳感器，所述質(zhì)量塊位于襯底上方，所述蓄熱器安裝在質(zhì)量塊上且位于質(zhì)量塊底部，所述導(dǎo)線安裝在蓄熱器內(nèi)，所述磁傳感器安裝在襯底上且位于襯底上端。本發(fā)明的有益效果是：通過磁傳感器檢測質(zhì)量塊在Y方向的位移，測量準(zhǔn)確，提高了角速度的精確性；蓄熱器隔絕了通電導(dǎo)線產(chǎn)生的焦耳熱，避免了質(zhì)量塊的形變、溫漂及噪聲。