一種微機(jī)電陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910157140.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109696163A 公開（公告）日 2019-04-30
申請公布號 CN109696163A 申請公布日 2019-04-30
分類號 G01C19/56（2012.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張彪; 王志靈 申請（專利權(quán)）人 成都因賽泰科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都因賽泰科技有限責(zé)任公司
地址 610041 四川省成都市高新區(qū)科園南路88號12幢1層103號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微機(jī)電陀螺儀，包括基底層、檢測質(zhì)量塊層和包覆層，基底層包括基底，檢測質(zhì)量塊層包括檢測質(zhì)量塊、可形變梁和柱，檢測質(zhì)量塊通過可形變梁和柱懸浮在基底上方，包覆層包括覆蓋層，檢測質(zhì)量塊設(shè)置在腔室內(nèi)，腔室包括第一腔室和第二腔室，檢測質(zhì)量塊與基底之間為第一腔室，檢測質(zhì)量塊與覆蓋層之間為第二腔室，第一腔室與第二腔室連通，第一腔室與第二腔室內(nèi)的氣壓低于大氣壓。該陀螺儀檢測質(zhì)量塊設(shè)置在腔室內(nèi)，腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室與第二腔室內(nèi)的氣壓低于大氣壓，陀螺儀檢測質(zhì)量塊在檢測角速度時(shí)，振動是阻力系數(shù)較小，使得品質(zhì)因子提高，檢測質(zhì)量塊在振動過程中損耗的振動能量較少，陀螺儀測量結(jié)果更精準(zhǔn)。