功率晶體管表面鈍化裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201711059707.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107887304A | 公開（公告）日 | 2018-04-06 |
| 申請公布號(hào) | CN107887304A | 申請公布日 | 2018-04-06 |
| 分類號(hào) | H01L21/67 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 魏廣乾 | 申請（專利權(quán)）人 | 重慶凱西驛電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 重慶強(qiáng)大凱創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 重慶凱西驛電子科技有限公司 |
| 地址 | 401147 重慶市渝北區(qū)龍溪街道紅黃路228號(hào)1幢23-3 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請涉及晶體管加工領(lǐng)域，具體公開了一種功率晶體管表面鈍化裝置，其包括反應(yīng)管、套設(shè)于反應(yīng)管外的外管和設(shè)于反應(yīng)管和外管之間的中管；反應(yīng)管和外管之間為除塵腔；反應(yīng)管和中管之間為除塵通道，除塵通道中部的橫截面收縮，除塵通道的上端與除塵腔連通；中管的下端封口，反應(yīng)管的上下兩端均開口，中管與反應(yīng)管轉(zhuǎn)動(dòng)連接，反應(yīng)管的下端與除塵通道的下端連通，中管下端的內(nèi)壁上固定有導(dǎo)流扇葉，導(dǎo)流扇葉位于反應(yīng)管下端面上方，反應(yīng)管上設(shè)有與除塵通道中部連通的除塵孔，反應(yīng)管內(nèi)設(shè)有與反應(yīng)管固定并位于除塵孔下方的托盤；反應(yīng)管的頂部設(shè)有蓋體，蓋體上設(shè)有與NH3氣源連通的進(jìn)氣孔，反應(yīng)管外周纏繞有感應(yīng)線圈。該裝置可在反應(yīng)管內(nèi)對臺(tái)面管進(jìn)行除塵。 |
