功率晶體管表面鈍化裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711059707.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107887304B 公開（公告）日 2019-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN107887304B 申請(qǐng)公布日 2019-09-03
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 魏廣乾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 重慶凱西驛電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶強(qiáng)大凱創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 重慶凱西驛電子科技有限公司
地址 401147 重慶市渝北區(qū)龍溪街道紅黃路228號(hào)1幢23-3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及晶體管加工領(lǐng)域，具體公開了一種功率晶體管表面鈍化裝置，其包括反應(yīng)管、套設(shè)于反應(yīng)管外的外管和設(shè)于反應(yīng)管和外管之間的中管；反應(yīng)管和外管之間為除塵腔；反應(yīng)管和中管之間為除塵通道，除塵通道中部的橫截面收縮，除塵通道的上端與除塵腔連通；中管的下端封口，反應(yīng)管的上下兩端均開口，中管與反應(yīng)管轉(zhuǎn)動(dòng)連接，反應(yīng)管的下端與除塵通道的下端連通，中管下端的內(nèi)壁上固定有導(dǎo)流扇葉，導(dǎo)流扇葉位于反應(yīng)管下端面上方，反應(yīng)管上設(shè)有與除塵通道中部連通的除塵孔，反應(yīng)管內(nèi)設(shè)有與反應(yīng)管固定并位于除塵孔下方的托盤；反應(yīng)管的頂部設(shè)有蓋體，蓋體上設(shè)有與NH3氣源連通的進(jìn)氣孔，反應(yīng)管外周纏繞有感應(yīng)線圈。該裝置可在反應(yīng)管內(nèi)對(duì)臺(tái)面管進(jìn)行除塵。