一種與鍺結(jié)合的空間用砷化鎵太陽電池電極制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011485427.7 申請日 -
公開(公告)號 CN112599613A 公開(公告)日 2021-04-02
申請公布號 CN112599613A 申請公布日 2021-04-02
分類號 H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王鑫;杜永超;歐偉;鐵劍銳;梁存寶;孫希鵬;李曉東;肖志斌 申請(專利權(quán))人 天津恒電空間電源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 欒志超
地址 300384天津市濱海新區(qū)濱海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)華科七路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種與鍺結(jié)合的空間用砷化鎵太陽電池電極制備方法,包括腐蝕以鍺為襯底的外延片,用真空法在外延片的非有源表面制備金接觸層和銀層,用電鍍法在銀層上制備銀加厚層,最后進(jìn)行將制備好銀加厚層的外延片進(jìn)行熱處理,得到與鍺結(jié)合的空間用砷化鎵太陽電池電極。本發(fā)明的有益效果是:該電極能夠采用真空法(真空蒸鍍法或磁控濺射法等)和非真空法(電鍍法等液相生長薄膜的方法)相結(jié)合進(jìn)行制備,能提高材料利用率、降低生產(chǎn)成本、在不采購大型設(shè)備的前提下提高產(chǎn)能;能夠?qū)崿F(xiàn)電極和襯底材料間形成歐姆接觸,并且接觸面間牢固度滿足空間使用要求;產(chǎn)品可靠性高。??