測(cè)量待測(cè)氣體中磷化氫含量的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610351302.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106066322A 公開（公告）日 2016-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN106066322A 申請(qǐng)公布日 2016-11-02
分類號(hào) G01N21/71(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 毛智慧;張?jiān)茣?亢若谷;金波;錢津旺;李曉華;韓小葉;郭秀紅;盧華;曾娟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 昆明冶研新材料股份有限公司;云南冶金云芯硅材股份有限公司
地址 655011 云南省昆明市曲靖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)三江大道9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了測(cè)量待測(cè)氣體中磷化氫含量的方法。該方法包括：采集預(yù)定體積的待測(cè)氣體，并利用磷化氫吸收液吸收所述待測(cè)氣體中的磷化氫，以便得到吸收后液；以及利用ICP?AES儀檢測(cè)對(duì)所述吸收后液進(jìn)行光譜檢測(cè)，基于所述光譜檢測(cè)結(jié)果確定所述氣體中磷化氫的含量。該方法利用磷化氫吸收液吸收富集待測(cè)氣體中的磷化氫，再利用高精度的ICP?AES儀檢測(cè)富集了磷化氫的吸收后液中的磷元素的濃度，從而得到待測(cè)氣體中磷化氫的含量。相對(duì)于現(xiàn)有的不經(jīng)富集直接利用分析儀器檢測(cè)氣體中磷化氫的方法，該方法的準(zhǔn)確性和精密度顯著提高，可用于檢測(cè)含低濃度磷化氫氣體的磷含量。