一種氯硅烷殘液生產(chǎn)HCl氣體的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510467054.3 申請日 -
公開（公告）號 CN105036081B 公開（公告）日 2017-06-13
申請公布號 CN105036081B 申請公布日 2017-06-13
分類號 C01B7/01(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 黃兵;羅平;陳樑;宋東明;張雯雯;沈宗喜;章江洪;馬啟坤;李銀光;宋良杰;徐靈通;丁炳恒;梁景坤;鄭慧文;趙義;王光躍;和雪飆;梁永坤;鄧亮;王嶺 申請（專利權(quán)）人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五華區(qū)學(xué)府路253號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氯硅烷殘液生產(chǎn)HCl氣體的方法，屬于多晶硅行業(yè)氯硅烷殘液資源化的領(lǐng)域。本發(fā)明采用攪拌反應(yīng)釜和吸收塔連用的方式，氯硅烷殘液在攪拌反應(yīng)釜中水解，殘液水解產(chǎn)生的H2、HCl氣體和未反應(yīng)完全的SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2揮發(fā)氣，經(jīng)過吸收塔充分吸收后，99%以上的氯以氯化氫的形式被吸收下來，尾氣堿洗后達標(biāo)排放，吸收塔吸收液進入攪拌反應(yīng)釜作為殘液水解反應(yīng)吸收劑，濃鹽酸經(jīng)解析產(chǎn)生的HCl氣體可回到三氯氫硅的合成工序，解析后的稀鹽酸又作為本發(fā)明系統(tǒng)的吸收劑，實現(xiàn)了氯的資源循環(huán)利用。本發(fā)明實現(xiàn)了氯硅烷殘液中氯的有效回收和資源化利用，減少進入后續(xù)污水處理裝置的氯離子的量，降低工廠廢水處理成本。