制備多晶硅的系統(tǒng)和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510916659.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105417544B 公開（公告）日 2017-12-05
申請公布號 CN105417544B 申請公布日 2017-12-05
分類號 C01B33/03(2006.01)I;C01B33/035(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 宋東明;韓小月;陳麗娟;耿志萍;王金;王嶺;趙生艷;李俊朝;趙桂潔;蔡永明;陸大軍;馬啟坤;任玖陽;周萬禮 申請（專利權(quán)）人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
地址 655011 云南省昆明市曲靖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)三江大道9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種制備多晶硅的系統(tǒng)和方法。本發(fā)明提出的制備多晶硅的系統(tǒng)和制備多晶硅的方法是利用還原回收的三氯氫硅來生產(chǎn)高品質(zhì)電子級多晶硅產(chǎn)品，高品質(zhì)電子級多晶硅的產(chǎn)量大而穩(wěn)定，同時(shí)也實(shí)現(xiàn)了高品質(zhì)電子級多晶硅產(chǎn)品和太陽能級以上多晶硅產(chǎn)品的專職區(qū)隔生產(chǎn)，以保障不同品質(zhì)多晶硅產(chǎn)品的生產(chǎn)，以此來滿足不同品質(zhì)多晶硅產(chǎn)品的需要。