顯微球面光譜自動分析儀及應(yīng)用其的光譜自動分析方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910812296.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110411717A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN110411717A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G01M11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 肖順東;覃亞 申請（專利權(quán)）人 廣東北創(chuàng)光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專永信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高之波;趙春正
地址 528000 廣東省佛山市禪城區(qū)季華一路28號四座1001房之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種顯微球面光譜自動分析儀及應(yīng)用其的光譜自動分析方法。自動分析儀包括載物臺、光路系統(tǒng)、光譜分析系統(tǒng)以及對焦裝置，所述對焦裝置包括手動微調(diào)機(jī)構(gòu)、自動對焦機(jī)構(gòu)以及控制系統(tǒng)，所述載物臺設(shè)于對焦裝置的驅(qū)動端，所述控制系統(tǒng)內(nèi)組件有數(shù)據(jù)庫，所述控制系統(tǒng)與光譜分析系統(tǒng)數(shù)據(jù)連接，對焦裝置配置為根據(jù)光路系統(tǒng)的實時數(shù)據(jù)與樣本數(shù)據(jù)的相對差值對實現(xiàn)自動對焦。本發(fā)明提供一種顯微球面光譜自動分析儀，其能夠?qū)Ρ粶y鏡片實現(xiàn)自動對焦、自動分析功能。本發(fā)明能夠根據(jù)樣品的光斑成像情況實時的進(jìn)行自動聚焦，減小了光譜信號波動；聚焦過程自動完成，無需專業(yè)人員參與，提高光譜分析的操作效率，降低光譜分析的操作門檻。