一種檢測機(jī)械臂刮傷的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111547662.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114193451A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114193451A 申請公布日 2022-03-18
分類號 B25J9/16（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 胡海天;連仲淵 申請（專利權(quán)）人 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周耀君
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)祖沖之路1399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種檢測機(jī)械臂刮傷的方法，包括：以晶圓圓心為坐標(biāo)原點(diǎn)，讀取缺陷圖譜上的所有缺陷點(diǎn)坐標(biāo)信息；剔除離群缺陷點(diǎn)；對剩余缺陷點(diǎn)進(jìn)行函數(shù)擬合，獲得擬合函數(shù)；計(jì)算擬合函數(shù)與晶圓圓心之間的距離L，則寬度2L視為產(chǎn)生刮傷的機(jī)械臂之寬度尺寸；將寬度2L與機(jī)械臂之寬度尺寸的數(shù)據(jù)集進(jìn)行比對，定位與擬合尺寸2L最接近的機(jī)械臂為產(chǎn)生刮傷的機(jī)械臂。本發(fā)明通過對缺陷圖譜之缺陷點(diǎn)的離群缺陷點(diǎn)剔除后對剩余缺陷點(diǎn)進(jìn)行函數(shù)擬合，計(jì)算擬合函數(shù)與晶圓圓心之間的距離L，并2L將視為產(chǎn)生刮傷的機(jī)械臂尺寸，再將寬度2L與機(jī)械臂尺寸的數(shù)據(jù)集進(jìn)行比對，差值最小的機(jī)械臂則被定位為產(chǎn)生刮傷的機(jī)械臂，不僅高效、準(zhǔn)確，而且及時(shí)避免晶圓損失，提高產(chǎn)品質(zhì)量，值得業(yè)界推廣使用。