銅銦鎵硒太陽能電池、其吸收層薄膜及該薄膜的制備方法、設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910006531.0 申請日 -
公開（公告）號 CN101740660B 公開（公告）日 2011-08-17
申請公布號 CN101740660B 申請公布日 2011-08-17
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏瑩菲;趙夔;陸貞冀 申請（專利權(quán)）人 北京華仁合創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 祁建國;梁揮
地址 100080 北京市海淀區(qū)稻香園7號樓1301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種銅銦鎵硒太陽能電池吸收層薄膜的制備方法，第一步先沉積銅、銦、鎵三元金屬薄膜，再蒸鍍上一層硒薄膜形成納米量級的銅銦鎵硒薄膜結(jié)構(gòu)，Se蒸鍍源的溫度為260～300℃，重復(fù)上述步驟10～50次；第二步再將疊加起來的銅銦鎵硒吸收層薄膜做快速退火處理，即得到微米量級的多晶銅銦鎵硒薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點是：各種元素比例可以得到精確控制；相比其他制備銅銦鎵硒薄膜的方法，各元素在薄膜整個厚度范圍中分布均勻，變化梯度??；整個工藝過程簡單方便，適合大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)。另外，本發(fā)明也公開了上述方法所得到的銅銦鎵硒太陽能電池的銅銦鎵硒吸收層薄膜、包含此銅銦鎵硒太陽能電池的銅銦鎵硒吸收層薄膜的太陽能電池以及上述方法所使用的制造設(shè)備。