一種碲化鋅粉末及其靶材的制備方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110916079.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN113416074A | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-09-21 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113416074A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-21 |
分類(lèi)號(hào) | C04B35/515(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/645(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分類(lèi) | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
發(fā)明人 | 文崇斌;王英潔;朱劉;童培云 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 夏菁 |
地址 | 511500廣東省清遠(yuǎn)市清新區(qū)禾云鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)(魚(yú)壩公路旁) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種碲化鋅粉末的制備方法,包括以下步驟:將碲和鋅分別置于氣相沉積裝置的加熱區(qū),使碲和鋅不接觸;對(duì)碲和鋅分別進(jìn)行加熱,使二者進(jìn)行氣相反應(yīng),得到碲化鋅粉末;具體的:對(duì)碲進(jìn)行加熱,控制溫度從室溫升溫至1000~1050℃,升溫時(shí)間70~100min;同時(shí)對(duì)鋅進(jìn)行加熱,控制溫度從室溫升溫至950~1000℃,升溫時(shí)間70~100min。本發(fā)明通過(guò)氣相反應(yīng)直接制備得到了碲化鋅粉末,其具有較高的純度,可直接用于碲化鋅靶材制備,得到的靶材相對(duì)密度大于98%,游離鋅和游離碲小于200ppm。 |
