一種碲化鋅摻鋅平面靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110913324.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113402276A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN113402276A 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類號(hào) C04B35/515（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/30（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 周榮艷;吳彩紅;文崇斌;童培云;朱劉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張雪嬌
地址 511500廣東省清遠(yuǎn)市清新區(qū)禾云鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)（魚(yú)壩公路旁）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種碲化鋅摻鋅平面靶材的制備方法，包括：S1）混料：將碲化鋅粉體、鋅單質(zhì)粉體與碲單質(zhì)粉體混合，得到混合物料；S2）燒結(jié)：將所述混合物料加熱燒結(jié)，得到燒結(jié)物料；S3）球磨：將所述燒結(jié)物料進(jìn)行球磨，得到球磨物料；S4）預(yù)壓：將所述球磨物料進(jìn)行預(yù)壓，得到成型坯體；S5）熱壓：將所述成型坯體進(jìn)行真空熱壓燒結(jié)，得到碲化鋅摻鋅平面靶材。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在碲化鋅中摻鋅以及摻碲可以使原本的碲化鋅靶材的導(dǎo)電性得到改善，使制得的靶材純度和密度均較高且可以提高靶材濺射的電導(dǎo)率，并且該制備方法工藝簡(jiǎn)單，對(duì)設(shè)備要求較低，成本較低，可批量生產(chǎn)。