一種基于計算機分層掃描成像CL系統(tǒng)的掃描裝置及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310136499.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103196929A 公開（公告）日 2013-07-10
申請公布號 CN103196929A 申請公布日 2013-07-10
分類號 G01N23/04(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王雅霄;魏存峰;舒巖峰;闕介民;孫翠麗;王哲;曹大泉;孟凡輝 申請（專利權(quán)）人 銳影檢測科技（濟南）有限公司
代理機構(gòu) 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院高能物理研究所
地址 100049 北京市石景山區(qū)玉泉路19號乙多學(xué)科大樓1113
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于計算機分層掃描成像CL系統(tǒng)的掃描裝置及檢測方法。X射線源位于所述裝置的最底端，用于向上發(fā)射錐束X射線；載物臺設(shè)置在所述X射線源的上方，在空間三維方向上作平移運動；載物臺的正上方設(shè)置有所述固定架，固定架與所述轉(zhuǎn)臂相連，使所述轉(zhuǎn)臂做圓周旋轉(zhuǎn)運動；所述轉(zhuǎn)臂上設(shè)置有導(dǎo)軌，平板探測器位于該導(dǎo)軌上，利用該導(dǎo)軌在所述轉(zhuǎn)臂上滑動；且平板探測器結(jié)合其在轉(zhuǎn)臂上的滑動以及轉(zhuǎn)臂的圓周旋轉(zhuǎn)運動，定位于所形成半球面的任意位置。該掃描裝置靈活多變，能夠在多種掃描傾角、360度旋轉(zhuǎn)角、以及多種放大比條件下對板狀構(gòu)件樣品進行斷層成像，并最大限度的簡化系統(tǒng)的機械運動復(fù)雜度，提高系統(tǒng)性能。