一種實現(xiàn)板狀樣品高分辨率大視野CL成像的掃描方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410381423.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105319225A 公開（公告）日 2016-02-10
申請公布號 CN105319225A 申請公布日 2016-02-10
分類號 G01N23/04(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王雅霄;魏存峰;劉寶東;舒巖峰;闕介民;王燕芳;孟凡輝;周俊光;袁路路;邵雨濛;王哲;李卓昕;申善威;魏龍 申請（專利權(quán)）人 銳影檢測科技（濟南）有限公司
代理機構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院高能物理研究所
地址 100049 北京市石景山區(qū)玉泉路19號乙多學(xué)科大樓1113
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種實現(xiàn)板狀樣品高分辨率大視野CL成像的掃描方法。本方法包括步驟：輸入?yún)?shù)，調(diào)整并確認(rèn)拼接子圖像的數(shù)目及方式，數(shù)據(jù)采集過程，數(shù)據(jù)拼接，輸出結(jié)果等。采用在高放大比條件下對板狀樣品分塊掃描采集投影數(shù)據(jù)，利用正方形“田字格”或六邊形“蜂窩狀”方式進行圖像拼接的方法，最終得到大面積板狀樣品的高分辨率大視野斷層圖像。