一種基于計(jì)算機(jī)分層掃描成像CL系統(tǒng)的掃描裝置及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310136499.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103196929B 公開（公告）日 2016-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN103196929B 申請(qǐng)公布日 2016-04-20
分類號(hào) G01N23/04(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王雅霄;魏存峰;舒巖峰;闕介民;孫翠麗;王哲;曹大泉;孟凡輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 銳影檢測(cè)科技（濟(jì)南）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所
地址 100049 北京市石景山區(qū)玉泉路19號(hào)乙多學(xué)科大樓1113
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于計(jì)算機(jī)分層掃描成像CL系統(tǒng)的掃描裝置及檢測(cè)方法。X射線源位于所述裝置的最底端，用于向上發(fā)射錐束X射線；載物臺(tái)設(shè)置在所述X射線源的上方，在空間三維方向上作平移運(yùn)動(dòng)；載物臺(tái)的正上方設(shè)置有所述固定架，固定架與所述轉(zhuǎn)臂相連，使所述轉(zhuǎn)臂做圓周旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；所述轉(zhuǎn)臂上設(shè)置有導(dǎo)軌，平板探測(cè)器位于該導(dǎo)軌上，利用該導(dǎo)軌在所述轉(zhuǎn)臂上滑動(dòng)；且平板探測(cè)器結(jié)合其在轉(zhuǎn)臂上的滑動(dòng)以及轉(zhuǎn)臂的圓周旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，定位于所形成半球面的任意位置。該掃描裝置靈活多變，能夠在多種掃描傾角、360度旋轉(zhuǎn)角、以及多種放大比條件下對(duì)板狀構(gòu)件樣品進(jìn)行斷層成像，并最大限度的簡(jiǎn)化系統(tǒng)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)復(fù)雜度，提高系統(tǒng)性能。