自動(dòng)對(duì)焦方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011197383.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112461853B 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN112461853B 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) G01N21/95（2006.01）I;H04N5/232（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉文強(qiáng);曾勝;龔博;喻超凡;朱禮平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海市奧德維科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000廣東省珠海市香洲區(qū)福田路10號(hào)廠房1一層-5
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自動(dòng)對(duì)焦方法及系統(tǒng)，其中自動(dòng)對(duì)焦方法包括步驟：在拍攝機(jī)構(gòu)的視野中設(shè)置邊界特征區(qū)域A；拍攝機(jī)構(gòu)和被測(cè)物相對(duì)移動(dòng)，拍攝機(jī)構(gòu)在相對(duì)移動(dòng)的過(guò)程中對(duì)被測(cè)物進(jìn)行拍攝獲取圖像，圖像包含被測(cè)物區(qū)域B和邊界特征區(qū)域A，記錄拍攝時(shí)拍攝機(jī)構(gòu)與被測(cè)物的相對(duì)位置信息；獲取圖像的清晰程度，判斷清晰程度是否達(dá)到峰值；如果清晰程度達(dá)到峰值，則記錄清晰程度達(dá)到峰值時(shí)對(duì)應(yīng)的相對(duì)位置信息，完成對(duì)焦。本申請(qǐng)的自動(dòng)對(duì)焦方法可實(shí)現(xiàn)晶圓檢測(cè)過(guò)程中的自動(dòng)對(duì)焦，提高對(duì)焦效率，并且能夠避免出現(xiàn)無(wú)法判斷是否對(duì)焦成功的問(wèn)題。