一種真空電子器件真空除氣設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721103139.4 申請日 -
公開（公告）號 CN207250450U 公開（公告）日 2018-04-17
申請公布號 CN207250450U 申請公布日 2018-04-17
分類號 H01J9/385;H01J9/39 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉春華;蔡小華 申請（專利權）人 江西景光電子有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 333405 江西省景德鎮(zhèn)市浮梁縣蘭田
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種真空電子器件真空除氣設備，包括支撐架和機械泵；所述支撐架上方設有電子管，電子管底部連接有可伐，可伐與電子管連通；所述可伐連通有陶瓷管，陶瓷管底部連通有可伐；所述可伐底部通過管道與超高真空閥連通，超高真空閥連通有冷阱；所述冷阱連通有擴散泵，擴散泵連通有機械泵。本實用新型通過設有真空烘烤罩，對電子管進行高效的雙真空排氣，排氣效率更高，效果更好，同時使用真空烘干的方式，減少熱量散失，節(jié)約能源。