一種BOE蝕刻液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010781660.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111892931B 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN111892931B 申請公布日 2021-09-03
分類號 C09K13/08;H01L21/306 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 董俊卿;徐倩;盧景煜 申請（專利權(quán)）人 浙江森田新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州新澤知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 曾建芳
地址 321200 浙江省金華市武義縣青年路胡處工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種BOE蝕刻液，按照質(zhì)量百分比包括以下組分，氫氟酸2％～15％、氟化銨5％～45％、硝酸2％～9％、醋酸0.5％～2％、超純水26％～90％和滲透劑0.5％～3％；所述的蝕刻液中注入有氫氣。本發(fā)明通過在蝕刻劑中通入微量氫氣，對蝕刻液起到催化作用，提高了蝕刻液對氧化硅層表面的潤濕性，降低BOE蝕刻液表面張力；蝕刻進(jìn)入的孔徑可達(dá)到1.0um。