可用于晶化和剝離的兩用準分子激光系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710137706.6 申請日 -
公開（公告）號 CN106654814A 公開（公告）日 2017-05-10
申請公布號 CN106654814A 申請公布日 2017-05-10
分類號 H01S3/00(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 游利兵;尹廣玥;方曉東 申請（專利權(quán)）人 安徽中科艾克西瑪光電科技有限公司
代理機構(gòu) 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 余成俊
地址 230031 安徽省合肥市蜀山湖路350號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可用于晶化和剝離的兩用準分子激光系統(tǒng)，包括準分子激光器、衰減模塊、光斑轉(zhuǎn)換模塊、導光臂、場鏡、投影鏡頭、控制模塊。本發(fā)明可用于晶化和剝離的，能在一套設(shè)備上實現(xiàn)晶化和剝離兩種功能，可應(yīng)用于顯示研究和生產(chǎn)行業(yè)，特別是柔性有機發(fā)光二極管顯示行業(yè)，并能大大降低晶化和剝離的生產(chǎn)費用。