一種掃描電鏡冷凍樣品臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023325319.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214252099U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN214252099U 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G01N23/2251（2018.01）I;G01N23/2204（2018.01）I;H01J37/20（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 廖洪鋼;蘭李根 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門(mén)超新芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)市精誠(chéng)新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 何家富
地址 361000福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)軟件園創(chuàng)新大廈A區(qū)801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種掃描電鏡冷凍樣品臺(tái)，包括水冷臺(tái)、半導(dǎo)體制冷片和樣品載臺(tái)，所述半導(dǎo)體制冷片設(shè)置于所述水冷臺(tái)上，所述半導(dǎo)體制冷片的散熱面和所述水冷臺(tái)表面貼合；所述樣品載臺(tái)設(shè)置于所述半導(dǎo)體制冷片上，所述樣品載臺(tái)的底面和所述半導(dǎo)體制冷片的致冷面貼合。本實(shí)用新型的掃描電鏡冷凍樣品臺(tái)，利用半導(dǎo)體制冷片的制冷作用，通過(guò)合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使之小型化，使得所述冷凍樣品臺(tái)能被放置于掃描電鏡下方，對(duì)樣品提供直接冷凍，且能提供低于?60℃的低溫，以滿足樣品的低溫要求及簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)操作。