一種透射電鏡高分辨原位溫差芯片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010869706.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113205989A 公開（公告）日 2021-08-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113205989A 申請(qǐng)公布日 2021-08-03
分類號(hào) H01J37/20（2006.01）I;H01J9/00（2006.01）I;H05B3/06（2006.01）I;H05B3/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖洪鋼;江友紅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門超新芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門市精誠新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃斌
地址 361000福建省廈門市火炬高新區(qū)軟件園創(chuàng)新大廈A區(qū)801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種透射電鏡高分辨原位溫差芯片及其制備方法，原位溫差芯片包括雙面覆蓋有絕緣層的基片，該基片的正面上設(shè)置有加熱層，所述加熱層包括兩對(duì)稱設(shè)置的加熱單元，每一加熱單元都包括由加熱絲構(gòu)成的加熱區(qū)、兩接觸電極以及連接加熱絲和接觸電極的連接線路，其中，加熱絲布設(shè)形成大致方形的加熱區(qū)，兩個(gè)接觸電極位于基片的同側(cè)邊緣；兩加熱單元的加熱區(qū)之間具有用來搭載樣品的縫隙；所述基片除加熱單元外的區(qū)域被腐蝕鏤空，從而形成用于支撐加熱區(qū)的第一支撐區(qū)域和用于支撐連接線路的第二支撐區(qū)域，該芯片具有快速升降溫、精準(zhǔn)測(cè)溫控溫、持續(xù)維持精準(zhǔn)溫差、分辨率高、樣品漂移率低的優(yōu)點(diǎn)。