一種納米晶非晶復合涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110219879.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113025979A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113025979A 申請公布日 2021-06-25
分類號 C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;B82Y30/00;B82Y40/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃曉林;趙文濤;李景斌;孫亮 申請（專利權）人 沈陽三聚凱特催化劑有限公司
代理機構 北京三聚陽光知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 周淑歌
地址 110144 遼寧省沈陽市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)細河八北街10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于切削刀具加工制造技術領域，具體涉及一種納米晶非晶復合涂層及其制備方法。本發(fā)明利用增強磁控濺射技術，制備具有納米晶和非晶復合的AlCrSiCN涂層，該復合涂層由粒徑10～50nm尺度的納米晶和圍繞納米晶分布的非晶相構成，因此納米尺度的晶粒保證涂層具有足夠的硬度，而非晶層則具有良好的塑性，且大量的納米晶與非晶界面可增加微裂紋擴展的阻力，故涂層具有高硬度（28～35GPa）、高韌性和優(yōu)異的耐磨性能，并保持AlCrN的優(yōu)異抗高溫性能，使涂層具有優(yōu)良的強度和結合強度，同時Si、C的摻雜一方面細化晶粒，提高強度，另一方面所形成的碳化物非晶層可進一步降低刀具的摩擦系數(shù)，降低刀具摩擦阻力。