一種基于機(jī)器視覺(jué)的晶圓缺口檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021938106.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213424931U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213424931U 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉加美;曹芳;劉俊呈 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京禪生半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海匯齊專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱明福
地址 211805江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號(hào)12幢446
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種基于機(jī)器視覺(jué)的晶圓缺口檢測(cè)裝置，包括遮光箱體，遮光箱體的前端面上開(kāi)設(shè)有晶圓傳輸口，晶圓傳輸口上通過(guò)設(shè)置鉸鏈鉸接有遮光蓋板，遮光箱體內(nèi)設(shè)置有晶圓承載平臺(tái)，晶圓承載平臺(tái)上方設(shè)置有裝夾機(jī)構(gòu)，裝夾機(jī)構(gòu)上接有連接軸的一端，連接軸的另一端自遮光箱體的頂壁向外穿出，連接軸穿出的端部上接有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，遮光箱體底部?jī)?nèi)壁上設(shè)置有處于晶圓本體缺口設(shè)定位置正下方的CCD傳感器，遮光箱體的頂部外壁上設(shè)置有處于晶圓本體缺口設(shè)定位置正上方的激光發(fā)生器，激光發(fā)生器的發(fā)射端呈豎直向下穿入遮光箱體內(nèi)部設(shè)置；本實(shí)用新型具有排除干擾、檢測(cè)準(zhǔn)確的特點(diǎn)。