一種用于晶圓加工的軸心定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021938108.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213424962U 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN213424962U 申請公布日 2021-06-11
分類號 H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉加美;曹芳;劉俊呈 申請（專利權(quán)）人 南京禪生半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海匯齊專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱明福
地址 211805江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢446
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種用于晶圓加工的軸心定位裝置，包括載片臺，載片臺上開設(shè)有以載片臺的中軸線為陣列中心呈環(huán)形陣列設(shè)置的至少三條滑槽，滑槽內(nèi)均滑動連接有滑塊，滑塊的頂部上均設(shè)有定位塊；載片臺內(nèi)部設(shè)有以載片臺的中軸線為陣列中心呈環(huán)形陣列設(shè)置的第一錐齒輪，第一錐齒輪的齒座部均接有呈水平設(shè)置的絲杠，絲杠一端與第一錐齒輪的齒座部固接在一起，另一端與載片臺的內(nèi)側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接在一起，絲杠上均設(shè)有絲杠螺母和連接塊，連接塊的頂部與其所在絲杠對應(yīng)的滑槽內(nèi)接有的滑塊的底部固接在一起，第一錐齒輪上均接有用于帶動所有第一錐齒輪運動的傳動組件；本實用新型具有定位準(zhǔn)確、花費時間短、工作效率高的特點。