單硅晶片生產(chǎn)用甩干裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020218832.1 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN212030032U | 公開(公告)日 | 2020-11-27 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN212030032U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-27 |
分類號(hào) | F26B5/08(2006.01)I | 分類 | 干燥; |
發(fā)明人 | 沈培琴 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 浙江貝盛新材料科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京艾皮專利代理有限公司 | 代理人 | 馬小輝 |
地址 | 313000浙江省湖州市吳興區(qū)織里鎮(zhèn)珍貝路800號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開了單硅晶片生產(chǎn)用甩干裝置,包括甩干裝置殼體、控制箱、旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)、熱吹風(fēng)機(jī)構(gòu),所述甩干裝置殼體右側(cè)設(shè)置有所述控制箱,所述甩干裝置殼體內(nèi)部設(shè)置有所述旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)上部設(shè)置有所述熱吹風(fēng)機(jī)構(gòu)。有益效果在于:通過所述甩干裝置殼體實(shí)現(xiàn)裝置的密封,提高甩干裝置的密封性,通過所述旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)和所述熱吹風(fēng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)單硅晶片的甩干,通過干燥的質(zhì)量和干燥速度,保證干燥過程的清潔度。?? |
