一種柔性鐵電存儲(chǔ)器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510042251.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105990522A 公開(kāi)（公告）日 2016-10-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN105990522A 申請(qǐng)公布日 2016-10-05
分類號(hào) H01L51/05(2006.01)I;H01L51/10(2006.01)I;H01L51/30(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龔慧蘭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泓準(zhǔn)達(dá)科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)祖沖之路2305號(hào)B幢507室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性鐵電存儲(chǔ)器及其制備方法，所述柔性鐵電存儲(chǔ)器包括：在柔性襯底層上設(shè)置單晶硅納米薄膜溝道層，在單晶硅納米薄膜溝道層上設(shè)置源電極與漏電極、在源電極與漏電極上設(shè)置的阻擋層、在阻擋層上設(shè)置的鐵電聚合物層，在鐵電聚合物層上設(shè)置門電極，本發(fā)明還提供一種制備柔性鐵電存儲(chǔ)器的方法，本發(fā)明提供的一種柔性鐵電存儲(chǔ)器及其制備方法，上述結(jié)構(gòu)的柔性鐵電存儲(chǔ)器能在150℃之下制備，制備好的柔性鐵電存儲(chǔ)器在偏置電壓下表現(xiàn)出良好的開(kāi)關(guān)狀態(tài)，開(kāi)關(guān)電壓約4±V，開(kāi)關(guān)比約200倍，符合存儲(chǔ)器要求，在經(jīng)過(guò)多次彎曲后，仍可保持良好的存儲(chǔ)性能，具有高可靠性。