一種在OCD測量中用于篩選波段的方法和裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410042262.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104807398B 公開（公告）日 2018-06-05
申請公布號 CN104807398B 申請公布日 2018-06-05
分類號 G01B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王鑫;張振生;施耀明;徐益平 申請（專利權(quán)）人 上海興橙投資管理有限公司
代理機構(gòu) 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)華佗路68號6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種在OCD測量中用于篩選波段的方法，其中，該方法包括以下步驟：a）對于待測結(jié)構(gòu)模型的多個結(jié)構(gòu)參數(shù)中的每個結(jié)構(gòu)參數(shù)，根據(jù)由該結(jié)構(gòu)參數(shù)變化而造成相應(yīng)的光譜上每個波長點的光譜信號偏移量，確定該結(jié)構(gòu)參數(shù)在所述每個波長點處的靈敏度；b）根據(jù)所述多個結(jié)構(gòu)參數(shù)分別在其每個波長點處的靈敏度，篩選一個或多個光譜波段；c)根據(jù)篩選出的光譜波段，實現(xiàn)測量光譜與理論光譜數(shù)據(jù)庫的匹配。根據(jù)本實施例的方法，可以提高OCD參數(shù)測量的信噪比和準(zhǔn)確性。