一種用于優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的方法和裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410542473.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105571483B 公開(kāi)（公告）日 2018-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN105571483B 申請(qǐng)公布日 2018-06-26
分類號(hào) G01B11/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王鑫;張振生;施耀明;徐益平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海興橙投資管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)華佗路68號(hào)6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的方案，該方案中，對(duì)于多個(gè)測(cè)量模式中每一個(gè)測(cè)量模式，確定與該測(cè)量模式對(duì)應(yīng)的系統(tǒng)噪聲；對(duì)于待測(cè)結(jié)構(gòu)模型的每個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)，通過(guò)確定該結(jié)構(gòu)參數(shù)在該測(cè)量模式下的可控測(cè)量精度，并根據(jù)該結(jié)構(gòu)參數(shù)在所述多個(gè)測(cè)量模式下的多個(gè)可控測(cè)量精度，確定該結(jié)構(gòu)參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)可選測(cè)量模式，并將該結(jié)構(gòu)參數(shù)分別在所述一個(gè)或多個(gè)可選測(cè)量模式下的一個(gè)或多個(gè)可控測(cè)量精度，作為該結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)應(yīng)的可控測(cè)量精度。