物體表面高度快速定位的方法與裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410190950.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN105091759B 公開(kāi)(公告)日 2018-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN105091759B 申請(qǐng)公布日 2018-08-24
分類號(hào) G01B11/03 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 黨江濤;黃建華;李娟 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海興橙投資管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于物體表面高度快速定位的方法與裝置,該方法包括:A.基于表征待測(cè)物體表面特征的第一曲面,確定測(cè)量點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的所述第一曲面中的第一位置;B.基于所述第一位置,確定所述測(cè)量點(diǎn)的聚焦位置。本發(fā)明通過(guò)ZMap數(shù)據(jù),可以快速預(yù)估計(jì)任意點(diǎn)的聚焦位置,聚焦速度得到極大的提高。