一種用于提高理論光譜數(shù)據(jù)庫創(chuàng)建速度的方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310751023.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104750748B 公開（公告）日 2018-10-12
申請公布號 CN104750748B 申請公布日 2018-10-12
分類號 G06F17/30 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 張振生;徐益平;施耀明;劉志鈞;王鑫;黃鯤 申請（專利權(quán)）人 上海興橙投資管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)華佗路68號6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于提高理論光譜數(shù)據(jù)庫創(chuàng)建速度的方法及裝置，其中，方法包括：獲取光學(xué)關(guān)鍵尺寸模型在每個波長點處與多個不同劃分面積差對應(yīng)的光譜數(shù)據(jù)；對所獲取的在每個波長點處與多個不同劃分面積差對應(yīng)的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行收斂分析，來確定該光學(xué)關(guān)鍵尺寸模型滿足預(yù)定收斂條件的最優(yōu)劃分面積差；根據(jù)該光學(xué)關(guān)鍵尺寸模型的最優(yōu)劃分面積差計算光譜數(shù)據(jù)，來建立所述光學(xué)關(guān)鍵尺寸模型的理論光譜數(shù)據(jù)庫。本發(fā)明在保證計算精度的前提下，減少了OCD模型的劃分層數(shù)，從而提高理論光譜數(shù)據(jù)庫的創(chuàng)建速度。