一種在處理機(jī)臺(tái)上生成用于定位晶圓的制程的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310548035.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104637781B 公開(kāi)（公告）日 2018-08-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN104637781B 申請(qǐng)公布日 2018-08-21
分類號(hào) H01L21/02;G06F17/50 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周堅(jiān) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海興橙投資管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種在處理機(jī)臺(tái)上生成用于定位晶圓的制程的方法，包括如下步驟：I.導(dǎo)入待測(cè)晶圓；II.設(shè)定至少兩個(gè)定位單元，其中i在所述晶圓上選定特征性圖形區(qū)域；ii在所述特征性圖形區(qū)域中確定至少兩個(gè)特征點(diǎn)；iii記錄所述每個(gè)特征點(diǎn)的坐標(biāo)；III.把所述定位單元的數(shù)據(jù)保存至所述制程中，所述定位單元的數(shù)據(jù)包括所述特征性圖形區(qū)域和所述每個(gè)特征點(diǎn)的坐標(biāo)；其中，制程中每一個(gè)定位單元所選定的圖形區(qū)域不一樣；本發(fā)明還提供了一種用處理機(jī)臺(tái)在制程中增加定位單元的方法，以及一種使用上述制程在處理機(jī)臺(tái)上來(lái)實(shí)現(xiàn)定位晶圓的方法。