一種在處理機臺上生成用于定位晶圓的制程的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310548035.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104637781B 公開（公告）日 2018-08-21
申請公布號 CN104637781B 申請公布日 2018-08-21
分類號 H01L21/02;G06F17/50 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周堅 申請（專利權）人 上海興橙投資管理有限公司
代理機構 北京市金杜律師事務所 代理人 睿勵科學儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種在處理機臺上生成用于定位晶圓的制程的方法，包括如下步驟：I.導入待測晶圓；II.設定至少兩個定位單元，其中i在所述晶圓上選定特征性圖形區(qū)域；ii在所述特征性圖形區(qū)域中確定至少兩個特征點；iii記錄所述每個特征點的坐標；III.把所述定位單元的數(shù)據(jù)保存至所述制程中，所述定位單元的數(shù)據(jù)包括所述特征性圖形區(qū)域和所述每個特征點的坐標；其中，制程中每一個定位單元所選定的圖形區(qū)域不一樣；本發(fā)明還提供了一種用處理機臺在制程中增加定位單元的方法，以及一種使用上述制程在處理機臺上來實現(xiàn)定位晶圓的方法。