一種進(jìn)行測量光譜與庫光譜匹配的方法及其設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410016003.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104778181B 公開（公告）日 2018-08-10
申請公布號 CN104778181B 申請公布日 2018-08-10
分類號 G06F17/30 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 陳慧萍;施耀明;徐益平 申請（專利權(quán)）人 上海興橙投資管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量設(shè)備中進(jìn)行測量光譜與庫光譜匹配的方法，其中：A.根據(jù)已知的樣品信息建立樣品形貌模型M；B.獲取被測樣品的各個測量光譜Sn并求出平均測量光譜S0；C.求出所述各個測量光譜Sn與所述平均測量光譜S0間的均方差MSE，最大的均方差MSEm所對應(yīng)的測量光譜為最遠(yuǎn)測量光譜Sm；D.根據(jù)所述平均測量光譜S0和最遠(yuǎn)測量光譜Sm確定光譜庫中參與匹配的光譜的范圍RS；E.在所述匹配范圍RS內(nèi)匹配所述各個測量光譜Sn，并得到所述各個測量光譜Sn的匹配參數(shù)Pn。