一種含有自檢測功能的多軸壓阻式加速度傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610589586.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106199072B 公開（公告）日 2019-10-18
申請公布號 CN106199072B 申請公布日 2019-10-18
分類號 G01P15/18;G01P15/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國華 申請（專利權(quán)）人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
地址 523000 廣東省東莞松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新竹路4號新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種含有自檢測功能的多軸壓阻式加速度傳感器，基于SOI晶圓，所述的SOI晶圓依次設(shè)置有襯底、中間氧化層、器件層，包括至少一個含有自檢測功能的面內(nèi)壓阻式加速度傳感器和至少一個含有自檢測功能的面外壓阻式加速度傳感器，在至少一個面內(nèi)加速度傳感器的部分懸臂梁側(cè)壁形成壓阻條，部分懸臂梁側(cè)壁形成自檢測電極。本發(fā)明還提供了一種含有自檢測功能的多軸壓阻式加速度傳感器的制作方法，實現(xiàn)可以進(jìn)行晶圓級自檢測的多軸壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)與加工工藝。