一種含有自檢測(cè)功能的多軸壓阻式加速度傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610589586.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106199072B 公開(kāi)（公告）日 2019-10-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN106199072B 申請(qǐng)公布日 2019-10-18
分類號(hào) G01P15/18;G01P15/12 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國(guó)華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
地址 523000 廣東省東莞松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)新竹路4號(hào)新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種含有自檢測(cè)功能的多軸壓阻式加速度傳感器，基于SOI晶圓，所述的SOI晶圓依次設(shè)置有襯底、中間氧化層、器件層，包括至少一個(gè)含有自檢測(cè)功能的面內(nèi)壓阻式加速度傳感器和至少一個(gè)含有自檢測(cè)功能的面外壓阻式加速度傳感器，在至少一個(gè)面內(nèi)加速度傳感器的部分懸臂梁側(cè)壁形成壓阻條，部分懸臂梁側(cè)壁形成自檢測(cè)電極。本發(fā)明還提供了一種含有自檢測(cè)功能的多軸壓阻式加速度傳感器的制作方法，實(shí)現(xiàn)可以進(jìn)行晶圓級(jí)自檢測(cè)的多軸壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)與加工工藝。