一種銅柵線異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池的生產(chǎn)集成設(shè)備及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111372324.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114242834A | 公開（公告）日 | 2022-03-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114242834A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-25 |
| 分類號(hào) | H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0747（2012.01）I;H01L31/0224（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王偉;趙曉霞;田宏波;王雪松;王彩霞;宗軍;孫金華;范霽紅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 國(guó)家電投集團(tuán)新能源科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 單冠飛 |
| 地址 | 102209 北京市昌平區(qū)未來(lái)科技城國(guó)家電投集團(tuán)科學(xué)技術(shù)研究院有限公司院內(nèi)A座8層至11層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種銅柵線異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池的生產(chǎn)集成設(shè)備，包括光注入模塊和磁控濺射鍍膜設(shè)備；其中磁控濺射鍍膜設(shè)備包括上下游依次設(shè)置的制程前室、制程室和制程后室；其中制程前室對(duì)待鍍膜的樣品預(yù)熱；制程室對(duì)預(yù)熱后的待鍍膜的樣品鍍膜；制程后室將鍍膜后的樣品冷卻；光注入模塊設(shè)置在制程前室內(nèi)用于對(duì)待鍍膜的樣品進(jìn)行光注入處理。本發(fā)明的實(shí)施例將光注入模塊集成到磁控濺射設(shè)備的某些非鍍膜腔室中，在銅柵線異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池進(jìn)行磁控濺射沉積TCO薄膜及金屬薄膜前完成光注入處理，有效解決了銅柵線異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池的光注入增效與焊接可靠性之間的矛盾。 |
