一種銅柵線異質結太陽電池的生產集成設備及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111372324.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114242834A 公開（公告）日 2022-03-25
申請公布號 CN114242834A 申請公布日 2022-03-25
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0747（2012.01）I;H01L31/0224（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王偉;趙曉霞;田宏波;王雪松;王彩霞;宗軍;孫金華;范霽紅 申請（專利權）人 國家電投集團新能源科技有限公司
代理機構 北京清亦華知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 單冠飛
地址 102209 北京市昌平區(qū)未來科技城國家電投集團科學技術研究院有限公司院內A座8層至11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例提供了一種銅柵線異質結太陽電池的生產集成設備，包括光注入模塊和磁控濺射鍍膜設備；其中磁控濺射鍍膜設備包括上下游依次設置的制程前室、制程室和制程后室；其中制程前室對待鍍膜的樣品預熱；制程室對預熱后的待鍍膜的樣品鍍膜；制程后室將鍍膜后的樣品冷卻；光注入模塊設置在制程前室內用于對待鍍膜的樣品進行光注入處理。本發(fā)明的實施例將光注入模塊集成到磁控濺射設備的某些非鍍膜腔室中，在銅柵線異質結太陽電池進行磁控濺射沉積TCO薄膜及金屬薄膜前完成光注入處理，有效解決了銅柵線異質結太陽電池的光注入增效與焊接可靠性之間的矛盾。