一種疊層TCO薄膜、硅異質(zhì)結(jié)電池及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111432647.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114242805A 公開（公告）日 2022-03-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN114242805A 申請(qǐng)公布日 2022-03-25
分類號(hào) H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/0747（2012.01）I;H01L31/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宮元波;趙曉霞;田宏波;王偉;王雪松;王彩霞;宗軍;范霽紅;孫金華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 國(guó)家電投集團(tuán)新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫詩惠
地址 102209 北京市昌平區(qū)未來科技城國(guó)家電投集團(tuán)科學(xué)技術(shù)研究院有限公司院內(nèi)A座8層至11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種疊層TCO薄膜，依次包括第一TCO薄膜層、第二TCO薄膜層和第三TCO薄膜層，其中，所述第一TCO薄膜層和第三TCO薄膜層為ITO薄膜層，第二TCO薄膜層為IWO或ICO薄膜層。本發(fā)明的疊層TCO薄膜，采用三疊層膜結(jié)構(gòu)，近非晶硅與近金屬電極端的TCO薄膜利用了不同ITO薄膜與非晶硅及金屬電極能夠形成良好接觸的優(yōu)勢(shì)，中間主體TCO層利用了IWO或ICO薄膜低載流子濃度高載流子遷移率的優(yōu)勢(shì)，將該疊層TCO薄膜作為硅異質(zhì)結(jié)電池的透明導(dǎo)電層，有利于降低電池電學(xué)和光學(xué)損失，提高電池短路電流密度和填充因子。