BPMA的分區(qū)聚焦測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810842815.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109100382B 公開（公告）日 2021-05-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN109100382B 申請(qǐng)公布日 2021-05-28
分類號(hào) G01N23/2202(2018.01)I 分類 -
發(fā)明人 應(yīng)平;周俊武;羅仙平;趙建軍;王清;王慶凱;溫利剛;賈木欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青海西部礦業(yè)工程技術(shù)研究有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭立明;趙鎮(zhèn)勇
地址 100160北京市豐臺(tái)區(qū)南四環(huán)西路188號(hào)總部基地十八區(qū)23號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種BPMA的分區(qū)聚焦測(cè)量方法，在樣品有效測(cè)量范圍劃分出9個(gè)或21個(gè)分區(qū)，分別在每個(gè)分區(qū)的中心分別聚焦，記錄每個(gè)分區(qū)的電鏡條件；聚焦完成后，BPMA軟件開始樣品測(cè)量，根據(jù)不同分區(qū)的不同的電鏡條件依次測(cè)量每分區(qū)，所述電鏡條件包括電鏡的工作距離；多個(gè)分區(qū)測(cè)量均完成后，保存一個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù)文件。采用在一個(gè)樣品的測(cè)量面上分區(qū)聚焦測(cè)量的方法解決樣品輕度傾斜的問題。??